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新聞資訊

日本電子株式會社JEOL離子束拋光機

時間:2024/7/2 11:14:39     企業:歐洲機床與智能制造網

 1、日本電子株式會社JEOL離子束拋光機JIB-4000PLUS

 

產品介紹

JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。 被加速的鎵離子束經聚焦照射樣品后,能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨、及碳和鎢等沉積。還可以為TEM制備薄膜樣品,為觀察樣品內部制備截面樣品。 該設備能配置3D觀察功能、自動TEM樣品制備功能,能對應多種制樣需求。


高性能FIB鏡筒

JIB-4000PLUS采用高性能的FIB鏡筒,最大離子束流高達 60 nA,可以擴展到90nA大束流(為可選件),能進行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨,100 μm以上的大截面也可以在短時間內制成。

 

用戶友好的FIB裝置

JIB-4000PLUS高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性,外觀和GUI設計都很友好。 即使沒用過FIB也能夠輕松操作; 此外,該裝置小巧緊湊為業界最小體積,安裝場所的選擇范圍很大。


雙樣品臺

JIB-4000PLUS標配的塊狀樣品馬達驅動樣品臺可供塊狀樣品使用,此外還可以增配側插式測角臺(TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入)。側插式測角臺與JEOL的TEM系統通用,這樣,FIB加工和TEM觀察的反復交替就能很容易地進行。

 

3D觀察功能

為了進行3D觀察,設備標配連續切片截面觀察功能。JIB-4000PLUS雖然是單束FIB,但是可以通過SIM像進行3D觀察。用3D重構軟件,可以將收集到的截面圖像重建為3D圖像,可以從各種角度顯示3D圖像。

 

自動TEM制樣功能

自動TEM制樣功能 "STEMPLING" 是選配件。有了這個功能,制樣不需要有很高的技能,任何人都能簡單地制樣,也可以對多個樣品自動制樣,提高工作效率。 :

 

豐富的附件

有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應用特別有效的CAD導航系統,對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統等。通過給JIB-4000安裝適當的附件,該系統可以支持樣品制備以外的應用。

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產品規格型號

軸數量   3軸

臥式/立式 通用

應用    用于光學儀器

其他特性  緊湊型, 高性能, 高速, 離子束, 銑刀, 大功率

X軸    11 mm(0 in)

Y軸    15 mm(1 in)

Z軸    最多: 23 mm(1 in);最少: 1 mm(0 in)

 

2、日本電子株式會社JEOL離子束拋光機IB-19520CCP

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產品介紹

IB-19520CCP在加工過程中利用液氮冷卻,能減輕離子束對樣品造成的熱損傷。冷卻持續時間長、液氮消耗少的構造設計。在裝有液氮的情況下,也能將樣品快速冷卻、恢復到室溫,并且可以拆卸。配有傳送機構,在隔離空氣的環境下能完成從加工到觀察的全過程。

冷卻的效果  樣品:鍍鋅鋼板

可提供500μm/h(8KV/2小時的平均值)的研磨速率。

 

★ 進程監控功能

截面加工狀態可通過CCD相機實時監控,倍率還可調整。

★ 防止充放電的噴鍍功能

備有離子束濺射功能(選配項)

可以噴涂顆粒感良好的薄涂層。

最適合于象EBSD等需要花樣識別等情況。

★ 平面離子減薄樣品架

以小角度的離子束低角度照射樣品,達到清除表面污垢、平滑表面等效果。

另外也非常適合于選擇性蝕刻。

★ 截面樣品制備單元

安裝在平面離子減薄樣品架上使用。該單元可用于在旋轉樣品的同時進行離子束加工。

可以用來制備象多孔質材料、粉末、纖維等容易出現加工條紋的樣品的截面。

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產品規格型號

加工材料  用于金屬

應用    用于制備試管

其他特性  表面, 平面, 數碼, HSC

作業寬度  500 µm

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