1、15BT單面晶片研磨/拋光機
規格:
研磨盤外徑:379mm
最大工件直徑:100mm
工作環內徑:140mm
工作環數量:4 pcs
盤面轉速:0 - 87 R.P.M
主馬達:1/2 HP
機器尺寸:W 580*D 650*H 554 mm
機器重量:150 KG
適用電源:110 V
特色:
適合學術單位、研發單位進行制程開發或小批量產,占地面積小。
采用精修研磨/拋光盤,有效控制工件平面度,突破一般業界之拋光精度,提升良率、提升產能、亦能將工件的尺寸公差、平行度等保持在特殊要求的精度范圍內。
特之平坦度控制系統,加工同時可控制平坦度,確保加工精度。
面緩慢啟動及緩慢停止裝置,解決工件龜裂、破損、崩角等問題。
多種可供選購之專業設計,可大幅提高產能與加工精度,或符合廠務環安要求。
有完整之系列產品,適合各種工件之精密研磨與拋光。
美、日原廠近50年專業技術,在臺生產,提供完整加工技術服務。
應用:
1/4 ~ 4 英吋晶圓或工件直徑 < 100 mm
適用于磁性、非磁性或金屬、非金屬、陶瓷、高硬度等工件,亦可加工背面形狀復雜之工件。
范例:
●鏡面鏡模●精密機械軸封●精密閥體●分條刀片●石英震蕩器●陶瓷元件
●半導體晶片●III-V族化合物半導體晶片●SAPPHIRE●FERRITE●磁碟機零件
●光學玻璃●超硬刀具
2、50B單面研磨/拋光機
規格
研磨盤外徑:1282mm
加壓板直徑:485mm
加壓板數量:4SETS
加壓方式:空壓缸加壓
加壓板獨立驅動:有
人機介面:可選配
機器尺寸(mm):W 1,670 * D 2,394 * H 2,858 mm
機器重量:5600 Kg
適用電源:220V
適用于大尺寸矽晶圓、藍寶石晶片拋光材料拋光制程,人機介面方便操作,本體加強支撐桿設計,穩定性更高。
應用:
8-12 inch矽晶片
4-6inch藍寶石基板
范例:
silicon wafer
sapphire wafer
3、4-5-6B雙面研磨/拋光機
規格:
研磨盤外徑:414 mm
夾具(游星輪)直徑:139.7 mm
夾具(游星輪)數量:5 SETS
加壓方式:空壓缸加壓
頻率控制器:可選配
壓力控制:兩段式
機器尺寸(mm):W 800 * D 926 * H 1,744 mm
機器重量:600 Kg
適用電源:220 V
適用于薄型硬脆材料研磨拋光制程,兩段式壓力控制,避免加工材料破損,設備簡單方便操作,上定盤支臂可偏移設計,方便工件與盤面取放,穩定性更高。
4、16B雙面研磨/拋光機
咨詢電話:13522079385
規格:
研磨盤外徑:1,125 mm
夾具(游星輪)直徑:426 mm
夾具(游星輪)數量:5 SETS
加壓方式:空壓缸加壓
自動厚度控制:可選配
壓力控制:兩段式
人機介面:可選配
機器尺寸(mm):W 2,300 * D 1,420 * H 2,550 mm
機器重量:5,000 Kg
適用電源:220 V / 380 V
采用游離研磨方式,能研磨加工至高精度平面度與面粗度、提高研磨速度、縮短加工時間。
獨特之平坦度控制系統,加工同時可控制平坦度,確保加工精度。
能加工超薄之磁性、非磁性或金屬、非金屬、水晶、石英晶片等工件
盤面緩慢啟動及緩慢停止裝置,解決工件龜裂、破損、崩角等問題。
多種可供選購之專業設計,可大幅提高產能與加工精度。
備有完整之系列產品,適合各種工件之精密研磨與拋光。
美、日原廠50年專業技術,在臺生產,提供完整加工技術服務。
應用:
適用于需兩面同時加工,磁性、非磁性或金屬、非金屬、陶瓷、高硬度等工件,亦可加工背面形狀復雜之工件。
適合2 ~ 6 inch圓片,或面積近似的不規則工件。
范例:
鏡面鏡模●精密機械軸封●精密閥體●分條刀片●石英震蕩器●陶瓷元件
●半導體晶片●SAPPHIRE●FERRITE●磁碟機零件●光學玻璃●超硬刀具
●機械軸封●SiC