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新聞資訊

日本SpeedFam晶片減薄拋光機

時間:2023/11/21 13:21:11     企業:歐洲機床與智能制造網

 1、15BT單面晶片研磨/拋光機

規格:

 研磨盤外徑:379mm

 最大工件直徑:100mm

 工作環內徑:140mm

 工作環數量:4 pcs

 盤面轉速:0 - 87 R.P.M

 主馬達:1/2 HP

 機器尺寸:W 580*D 650*H 554 mm

 機器重量:150 KG

 適用電源:110 V

 

特色:

適合學術單位、研發單位進行制程開發或小批量產,占地面積小。

采用精修研磨/拋光盤,有效控制工件平面度,突破一般業界之拋光精度,提升良率、提升產能、亦能將工件的尺寸公差、平行度等保持在特殊要求的精度范圍內。

特之平坦度控制系統,加工同時可控制平坦度,確保加工精度。

面緩慢啟動及緩慢停止裝置,解決工件龜裂、破損、崩角等問題。

多種可供選購之專業設計,可大幅提高產能與加工精度,或符合廠務環安要求。

有完整之系列產品,適合各種工件之精密研磨與拋光。

美、日原廠近50年專業技術,在臺生產,提供完整加工技術服務。

 

應用:

1/4 ~ 4 英吋晶圓或工件直徑 < 100 mm

適用于磁性、非磁性或金屬、非金屬、陶瓷、高硬度等工件,亦可加工背面形狀復雜之工件。

 

范例:

●鏡面鏡模●精密機械軸封●精密閥體●分條刀片●石英震蕩器●陶瓷元件

●半導體晶片●III-V族化合物半導體晶片●SAPPHIRE●FERRITE●磁碟機零件

●光學玻璃●超硬刀具

 

2、50B單面研磨/拋光機

 圖片5.png

規格

 研磨盤外徑:1282mm

 加壓板直徑:485mm

 加壓板數量:4SETS

 加壓方式:空壓缸加壓

 加壓板獨立驅動:有

 人機介面:可選配

 機器尺寸(mm):W 1,670 * D 2,394 * H 2,858 mm

 機器重量:5600 Kg

 適用電源:220V

 

適用于大尺寸矽晶圓、藍寶石晶片拋光材料拋光制程,人機介面方便操作,本體加強支撐桿設計,穩定性更高。

 

應用:

8-12 inch矽晶片

4-6inch藍寶石基板

 

范例:

silicon wafer

sapphire wafer

 

3、4-5-6B雙面研磨/拋光機

 圖片6.png

規格:

研磨盤外徑:414 mm

 夾具(游星輪)直徑:139.7 mm

 夾具(游星輪)數量:5 SETS

 加壓方式:空壓缸加壓

 頻率控制器:可選配

 壓力控制:兩段式

 機器尺寸(mm):W 800 * D 926 * H 1,744 mm

 機器重量:600 Kg

 適用電源:220 V

 

適用于薄型硬脆材料研磨拋光制程,兩段式壓力控制,避免加工材料破損,設備簡單方便操作,上定盤支臂可偏移設計,方便工件與盤面取放,穩定性更高。

 

4、16B雙面研磨/拋光機

 圖片7.png

咨詢電話:13522079385

規格:

 研磨盤外徑:1,125 mm

 夾具(游星輪)直徑:426 mm

 夾具(游星輪)數量:5 SETS

 加壓方式:空壓缸加壓

 自動厚度控制:可選配

 壓力控制:兩段式

 人機介面:可選配

 機器尺寸(mm):W 2,300 * D 1,420 * H 2,550 mm

 機器重量:5,000 Kg

 適用電源:220 V / 380 V

 

采用游離研磨方式,能研磨加工至高精度平面度與面粗度、提高研磨速度、縮短加工時間。

獨特之平坦度控制系統,加工同時可控制平坦度,確保加工精度。

能加工超薄之磁性、非磁性或金屬、非金屬、水晶、石英晶片等工件

盤面緩慢啟動及緩慢停止裝置,解決工件龜裂、破損、崩角等問題。

多種可供選購之專業設計,可大幅提高產能與加工精度。

備有完整之系列產品,適合各種工件之精密研磨與拋光。

美、日原廠50年專業技術,在臺生產,提供完整加工技術服務。

 

應用:

適用于需兩面同時加工,磁性、非磁性或金屬、非金屬、陶瓷、高硬度等工件,亦可加工背面形狀復雜之工件。

適合2 ~ 6 inch圓片,或面積近似的不規則工件。

 

范例:

鏡面鏡模●精密機械軸封●精密閥體●分條刀片●石英震蕩器●陶瓷元件

●半導體晶片●SAPPHIRE●FERRITE●磁碟機零件●光學玻璃●超硬刀具

●機械軸封●SiC

 

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